我們通常認(rèn)為靜電控制是一項非常成熟精 確的技術(shù),然而描述這種技術(shù)語在應(yīng)用上卻并不十分準(zhǔn)確。比如我們有時說電阻率實際上指的是電阻,而在真正表示某種材料的阻值范圍時又會使用一個像“導(dǎo)電性”這樣的普通詞匯。
因此要想正確實施靜電控制技術(shù),從某種意義上講首先必須要能夠在交流過程中準(zhǔn)確地描述出需要表達的內(nèi)容,而有效的溝通則先得從明確的定義和正確使用術(shù)語開始。下面我們介紹一些在靜電控制技術(shù)中用到的基本概念。
1. 電阻和電阻率:這是靜電控制技術(shù)中關(guān)鍵的兩個概念,它們經(jīng)?;煜粌H被用來表示材料,還用于描述評估材料的測試方法。
2. 體電阻系數(shù):指某材料單位厚度上的直流壓降與單位面積上通過的電流比。體電阻系數(shù)是材料的基本參數(shù)之一,表示其導(dǎo)電性能,單位為歐姆/厘米。
3. 表面電阻系數(shù):該參數(shù)用于厚度一定的薄膜材料,其定義為表面上單位長度的直流壓降與單位寬度流過電流之比。它指正方形兩對邊之間的阻值,只要面積遠遠大于薄膜厚度,則該阻值與正方形的大小無關(guān)。表面電阻率的單位是歐姆。
4. 電 阻:從另一方面表示不同形狀(面積和長度)和電阻率的材料對電流的阻礙作用,它同
時表明材料的表面貌一新或表面與地之間的電路連通性以及物體的放電能力,單位是歐姆。
5. 表面電阻:根據(jù)EOS/ESD S11.11“靜電釋放平面材料的體電阻測量”中的定義,體電阻是指材料兩端之間的直流電壓與通過電流的比值,它的單位也是歐姆。
6. 絕緣材料:指表面電阻系數(shù)在1×1011歐姆/厘米以上的材料。絕緣材料的表面或內(nèi)部基本上沒有電流流動,它的電阻很大,難于接地。這種材料內(nèi)的靜電荷會在上面保留很長時間。
7. 導(dǎo)電材料:指表面電阻系數(shù)小于1×105歐姆或體電阻系數(shù)小于1×104歐姆/厘米的材料。這種材料電阻小,電子在其表面及內(nèi)部流動非常容易,可流向任何接觸到的其它導(dǎo)體或大地。
8. 抗靜電性:通常指材料抑制磨擦起電的特性。材料的抗靜電性與其電阻或電阻率沒有必然聯(lián)系。
9. 放電材料:指表面電阻系數(shù)大于或等于1×105而小于1×1012歐姆,或體電阻系數(shù)大于或等于1×104而小于1×1011歐姆/厘米的材料。
10.靜電屏蔽材料:指導(dǎo)電層每毫米厚度的表面電阻系數(shù)小于1×104歐姆,或體電阻系數(shù)小于1.0×103歐姆/厘米的材料,采用這種材料制作的法拉弟保護罩可防止靜電敏感器件受到靜電的影響。